Główna klasyfikacja maszyn do powlekania próżniowego

Istnieją dwie główne kategorie: powłoka osadzania odparowy i powłoka osadzania rozpylania, które obejmują wiele rodzajów, w tym parowanie jonów próżniowych, rozpylanie magnetronowe, epitaxia wiązki molekularnej MBE, metoda zol-żel itp.
1. W przypadku powłoki parowania:
Zasadniczo materiał docelowy jest ogrzewany w celu odparowania składników powierzchni w postaci grup atomowych lub jonów.
Jednościowość grubości zależy głównie od:
1. Stopień dopasowania sieci między materiałem podłoża a materiałem docelowym
2. Temperatura powierzchni podłoża
3. Moc parowania, szybkość
4. stopień próżni
5. Czas powlekania, wielkość grubości.
Jednolitość komponentów:
Jednomierność komponentów powłoki parowania nie jest łatwa do zagwarantowania. Szczegółowe czynniki, które można dostosować, są takie same jak powyżej. Jednak ze względu na ograniczenie zasady dla powlekania komponentów bez samotnego, jednorodność komponentu powlekania odparowywania nie jest dobra.
Jednorodność orientacji kryształów:
1. Stopień dopasowania kratowej
2. Temperatura podłoża
3. Wskaźnik parowania
Powłoka rozpylająca można podzielić na wiele rodzajów. Ogólnie rzecz biorąc, różnica od powłoki parowania polega na tym, że szybkość rozpylania stanie się jednym z głównych parametrów.
Podczas powlekania rozpylającego powłoka laserowa PLD jest łatwa w utrzymaniu jednorodności składowej, ale równomierność grubości w skali atomowej jest stosunkowo słaba (ponieważ jest pulsowane rozpylanie), a kontrolę wzrostu kierunku kryształu (krawędzi zewnętrznej) jest również stosunkowo ogólne.