Optyczna maszyna do powlekania próżniowego składa się z układu próżniowego, układu odparowania, układu chłodzenia i układu elektrycznego. Układ próżniowy składa się ze zbiornika próżniowego i układu wydechowego. Zbiornik próżniowy jest głównym korpusem maszyny do powlekania, a proces powlekania kończy się w zbiorniku próżniowym. Zbiornik próżniowy i układ wydechowy są połączone zaworem łączącym. Aby zapobiec wpływowi cząsteczek powietrza na napylane jony i poprawić jakość warstwy folii, elementy optyczne i źródło jonów muszą podczas pracy znajdować się w środowisku próżniowym.
Układ wydechowy składa się głównie z pompy mechanicznej, pompy Rootsa i pompy próżniowej, która odpowiada za odprowadzanie gazu ze zbiornika próżniowego i tworzenie w zbiorniku środowiska próżniowego. System odparowania odnosi się głównie do urządzenia tworzącego film. W maszynie do powlekania znajduje się wiele rodzajów urządzeń tworzących powłokę, takich jak ogrzewanie oporowe, odparowanie działa elektronowego, rozpylanie magnetronowe, rozpylanie o częstotliwości radiowej, galwanizacja jonowa itp.
Optyczne maszyny do powlekania próżniowego nakładają cienkie warstwy na elementy optyczne poprzez rozpylanie próżniowe, modyfikując współczynnik odbicia i przepuszczalność padającego światła. Aby zminimalizować straty odbicia na powierzchni elementu i poprawić jakość obrazu, często stosuje się wiele warstw cienkich folii. Po pokryciu elementu optycznego światło wielokrotnie odbija się i przepuszcza na powierzchni wielowarstwowej folii, tworząc wiele wiązek interferencyjnych. Kontrolując grubość i współczynnik załamania światła warstw folii, można uzyskać różne rozkłady intensywności. Zasadę tę można zastosować do produkcji polaryzacyjnych folii odblaskowych, folii rozdzielających kolory, folii zimnego światła i filtrów interferencyjnych, aby sprostać bardziej złożonym potrzebom.
