Chociaż istnieje wiele rodzajów źródeł jonów, ich cel jest zasadniczo taki sam: czyszczenie w trybie online, poprawa dystrybucji energii na platerowanej powierzchni i modulowanie energii gazu reagenta. Źródła jonów mogą znacznie poprawić siłę wiązania pomiędzy folią a podłożem, poprawiając jednocześnie twardość folii oraz odporność na zużycie i korozję. W przypadku warstw-odpornych na zużycie narzędzi, które są zazwyczaj grubsze i nie wymagają dużej jednorodności grubości powłoki, można zastosować źródła jonów o wyższym prądzie jonowym i poziomach energii, takie jak źródła jonów Halla lub źródła jonów anolitu.
Anodowe źródła jonów działają na zasadzie podobnej do źródeł jonów Halla. W wąskiej pierścieniowej (prostokątnej lub okrągłej) szczelinie przykładane jest silne pole magnetyczne, które pod wpływem anody jonizuje gaz roboczy i kieruje go w stronę przedmiotu obrabianego. Anodowe źródła jonów mogą być bardzo duże i długie, dzięki czemu nadają się szczególnie do powlekania dużych przedmiotów, takich jak szkło architektoniczne. Oferują również stosunkowo duży prąd jonowy. Jednak ich prąd jonowy jest bardziej rozproszony, a rozkład poziomów energii jest zbyt szeroki. Na ogół nadają się do dużych przedmiotów obrabianych, szkła, powierzchni ściernych i elementów dekoracyjnych. Jednak ich zastosowanie w zaawansowanych powłokach optycznych nie jest powszechne.
Chociaż istnieje wiele rodzajów źródeł jonów, ich cel jest zasadniczo taki sam: czyszczenie w trybie online, poprawa dystrybucji energii na platerowanej powierzchni i modulowanie energii gazu reagenta. Źródła jonów mogą znacznie poprawić siłę wiązania pomiędzy folią a podłożem, poprawiając jednocześnie twardość folii oraz odporność na zużycie i korozję. W przypadku warstw-odpornych na zużycie narzędzi, które są zazwyczaj grubsze i nie wymagają dużej jednorodności grubości powłoki, można zastosować źródła jonów o wyższym prądzie jonowym i poziomach energii, takie jak źródła jonów Halla lub źródła jonów anolitu.
Anodowe źródła jonów działają na zasadzie podobnej do źródeł jonów Halla. W wąskiej pierścieniowej (prostokątnej lub okrągłej) szczelinie przykładane jest silne pole magnetyczne, które pod wpływem anody jonizuje gaz roboczy i kieruje go w stronę przedmiotu obrabianego. Anodowe źródła jonów mogą być bardzo duże i długie, dzięki czemu nadają się szczególnie do powlekania dużych przedmiotów, takich jak szkło architektoniczne. Oferują również stosunkowo duży prąd jonowy. Jednak ich prąd jonowy jest bardziej rozproszony, a rozkład poziomów energii jest zbyt szeroki. Na ogół nadają się do dużych przedmiotów obrabianych, szkła, powierzchni ściernych i elementów dekoracyjnych. Jednak ich zastosowanie w zaawansowanych powłokach optycznych nie jest powszechne.
Źródło jonów Halla w amaszyna do powlekania próżniowegojonizuje gaz procesowy pod wpływem silnego osiowego pola magnetycznego. Silna nierównowaga tego osiowego pola magnetycznego oddziela jony gazu i tworzy wiązkę jonów. Ze względu na siłę osiowego pola magnetycznego wiązka jonów będąca źródłem jonów Halla potrzebuje dodatkowych elektronów, aby zneutralizować przepływ jonów. Powszechnym źródłem neutralizacji jest włókno wolframowe (katoda).
