W maszynach do powlekania próżniowego metodą rozpylania magnetronowego materiał do powlekania nazywany jest podłożem, a powlekany materiał nazywany jest celem. Zarówno podłoże, jak i tarcza znajdują się w komorze próżniowej. Powlekanie przez odparowanie zazwyczaj obejmuje ogrzewanie tarczy w celu odparowania składników powierzchniowych w postaci klastrów atomowych lub jonów. Te odparowane składniki osadzają się następnie na powierzchni podłoża, tworząc cienką warstwę w procesie-tworzenia błony (rozproszona-struktura wyspowa-struktura wędrująca-wzrost warstwy).
W przypadku powłok napylanych można to po prostu rozumieć jako użycie elektronów lub-laserów o wysokiej energii do bombardowania celu, rozpylanie składników powierzchni w klastry atomowe lub jony, które następnie osadzają się na powierzchni podłoża i przechodzą proces-tworzenia filmu, aby ostatecznie utworzyć cienką warstwę.
Procedury operacyjne: Obsługa szafy sterowniczej
1. Włącz pompę wodną i dopływ powietrza.
2. Włącz główne zasilanie.
3. Włącz zasilanie pompy utrzymującej i wakuometru. Ustaw wakuometr w pozycji V1 i poczekaj, aż wartość będzie mniejsza niż 10, zanim przejdziesz do następnego kroku. Zajmuje to około 5 minut.
4. Włącz pompę mechaniczną w celu wstępnego-odpowietrzenia. Włącz pompę turbomolekularną i uruchom ją. Przełącz przełącznik wakuometru na V2 i opróżniaj, aż wartość będzie mniejsza niż 2. Zajmuje to około 20 minut.
5. Gdy odczyt pompy turbomolekularnej osiągnie 250, wyłącz wstępne-próżnianie. Włączyć pompę wstępną i zawór wysokiego podciśnienia, aby kontynuować opróżnianie. Dopiero po osiągnięciu określonego poziomu podciśnienia można włączyć prawy wskaźnik wysokiego podciśnienia i obserwować stopień podciśnienia. Zasilanie działa elektronowego można włączyć dopiero po osiągnięciu podciśnienia 2 × 10⁻³.
Działanie DEF-6B:
1. Zasilanie główne.
2. Jednocześnie włącz sterowanie pistoletem elektronowym I i sterowanie pistoletem elektronowym II: Naciśnij przełącznik zasilania i opóźnienia sterowania pistoletem elektronowym I. Zaświecą się lampki opóźnienia, zasilania i ochrony. Po trzech minutach lampki opóźnienia i zabezpieczenia zgasną. Jeśli tylne drzwi nie są prawidłowo zamknięte lub przekaźnik przepływu wody działa nieprawidłowo, lampka zabezpieczająca pozostanie włączona.
3. Włącz wysokie napięcie. Wysokie napięcie osiągnie ponad 10 KV. Ustaw prąd wiązki na około 200 mA. Siatka ekranu ma napięcie 20 V/100 mA, prąd żarnika wynosi 1,2 A, a prąd odchylenia waha się w granicach od 1 do 1,7 A.
